淄博高新区：聚力创“芯” 智造未来
来源：未知 日期：2019-04-30 点击：次
“MEMS产业本身就是信息产业的一个重要发展方向，也是传感器和智能微系统行业颠覆性技术。淄博市、高新区和清华大学选择MEMS行业进行投资和开发，经过几年努力已经开花结果。”中国工程院院士、清华大学副校长尤政在接受记者采访时表示。
MEMS是什么？它集中了当今科技发展的诸多尖端成果，在智能化“感知”时代，MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点，成为智能传感的核心交互器件，广泛应用于国防军事、现代工业、民用消费类电子、汽车电子、可穿戴可植入医疗等领域，是继微电子之后又一个对国计民生具有重要影响的颠覆性技术，也是信息化、智能化的关键核心技术，拥有非常广阔的应用前景。
高新区准确捕捉到这一智能产业的发展趋势，与清华大学机械工程学院成立国家高新区MEMS研究院。该研究院是微机电制造领域国内首家校地共建的研究院，借助清华大学在MEMS领域的科研和人才优势，依托淄博集成电路产业基础和政策优势，共同搭建具有国际先进水平的6英寸硅基MEMS中试代工平台、着力打造国家级微系统产业化基地、引领国内MEMS器件产业化进程，实现电子信息产业的跨越式发展。
2018年3月，首届中国(淄博)MEMS产业战略高峰论坛在我市举行。期间，高新区MEMS研究院自主研发的MEMS陀螺、加速度计、继电器等产品正式下线。MEMS陀螺和MEMS加速度计，广泛应用于军用和民用的惯性产品领域，例如无人机、无人舰、自动驾驶汽车、手机以及所有可移动设备的导航功能；MEMS继电器是极其微小的开关阵列，一个小拇指的指甲上就能摆放4个，具有高灵敏度和高可靠性，在智能手机、汽车、现代工业等领域普遍使用。研究院在研的还有MEMS微探针，是原子力显微镜的最重要核心部件，目前国内所有的原子力显微镜探针完全依赖进口，微探针的国产化，将大幅降低采购成本，打破国外垄断，实现又一项MEMS关键产品的自主研发。去年5月，高新区MEMS研究院承担的“MEMS产业研究院”项目通过山东省科技厅、淄博市科技局、高新区科技局的联合专家组验收，项目实施期间获得首批市高新技术创新“双十计划”立项。“目前，研究院已建成国内首家MEMS专业化中试代工平台，可为淄博本地乃至省内外客户提供MEMS仿真设计、小试、中试以及代工服务。”高新区MEMS研究院科技管理部部长刘通说。
记者在MEMS研究院投资组建的国有控股公司——山东博华电子科技发展有限公司的生产基地时看到，企业厂房面积5000平方米，分环境洁净区、动力区、办公区等。洁净面积1540平方米，百级区340平方米、千级区400平方米，万级区800平方米，超净规模国内领先。拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流6英寸微纳米技术制造设备，产品的测试环境也居国内先进水平。
山东博华电子科技发展有限公司仅是高新区MEMS产业园区所入驻的企业之一。整个园区占地面积523亩，计划总投资30亿元，规划建筑面积56万平方米。目前，同方股份有限公司、台湾点晶科技有限公司、航天704所、中国兵器集团公司、中电集团55所、哈工大电路设计公司等多家科研机构和企业已达成入驻意向。
未来，在继续完善MEMS中试代工平台的基础上，延伸建设MEMS设计与开发、小试与中试、封装与测试平台，通过淄博国家高新区MEMS研究院的技术牵引，淄博将逐步建成国家级MEMS产业基地、军民融合发展示范基地、产学研用全产业链核心共性技术协同创新平台。可以预见，这一园区将打造成全球领先的国际化MEMS相关产业集群，最终建成集研发、试验、检测、生产、办公、展示与交易一体的MEMS产业示范园。
